洁净室的压差检测的要求和步骤

洁净室的压差检测是为了验证完工设施与周围环境之间、设施内各空间之间保持规定压差的能力，在空态、静态、动态的洁净室的占用状态下均可适用。

一、压差检测要求：

1、静压差的测定要求在洁净区内的所有门全部关闭情况下进行

2、在洁净平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行，一直检测到直通室外的房间

3、测管口设在室内没有气流影响的任何地方均可，测管口面与气流流线平行。

4、所测量记录的数据应精准到 1.0Pa

二、压差检测步骤：

1、先关闭所有的门

2、用微差压计测量各洁净室之间、洁净室走廊之间、走廊与外界之间的压差

3、记录所有数据

三、 合格标准按照洁净室设计或工艺要求决定维持被测洁净室的正压或负压值：

1、不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室(区)之间的静压差，应不小于 5Pa

2、洁净室(区)与室外的静压差，不应小于 10Pa

3、对于空气洁净度等级严于 5 级(100 级)的单向流洁净室在开门时，门内 0.6m 处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值

4、若达不到以上标准的要求，应重新调整新风量、排风量至达标为止