出入半导体洁净车间需要注意哪些事项

半导体组件空间单位都是以微米来计算的，所以微尘颗粒附着在制作半导体组件的晶圆上，很有可能影响到上面的精密导线布局的样式，造成短路或断路情况。因此所有半导体制程设备都必须放置在隔绝粉尘进入的密闭空间里，这就是半导体洁净车间的来由。

下面给大家说说出入半导体洁净车间需要注意的事项：

1、半导体洁净车间内部要确保粉尘只出不进，因此洁净车间室内要保持大于大气压的环境，这就需要用大型鼓风机将经净化设备的空气源源输入洁净车间中。

2、为保持恒温恒湿，大型空调设备须搭配前面的鼓风加压系统使用。鼓风机加压多久，空调就得开多久。

3、所有经净化设备的空气流动方向均由上往下为主，因此洁净车间室内空间设计或机台摆放应避免突兀，使尘埃细菌等在洁净车间内回旋停滞的机会与时间减至最低程度。

4、所有建材均以不易产生静电吸附的材质为主。

5、所有人或事物进出洁净车间，人必须穿配套防尘服，人或事物都要经过风淋室吹淋以将表面粉尘先行除掉。

6、半导体洁净车间内水的使用只限用去离子水。一是防止水中粉粒污染晶圆，二是防止水中重金属离子污染金氧半晶体管结构的带电载子信道，影响半导体组件的工作特性。去离子水是 的溶剂与清洁剂，在半导体工业的使用量非常惊人。

7、半导体洁净车间用到的气源，包括吹干晶圆和机台空压所需要的，都需要使用98%氮气，吹干晶圆的氮气甚至要求99.8%以上的高纯氮。